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1点57分,孟谦在工厂门口等到了何文康,跟着何文康一起过来的还有一个是他的男秘书蔡元。
简单打了个招呼就一起进厂,在门口的时候孟谦跟张国强相视一笑,两人并没有打招呼。
“孟总,知道我为什么要带你来工厂么?”走进工厂后何文康问道。
孟谦摇了摇头,他确实不知道。
“你不知道就对了,我也不知道。”何文康冲着孟谦一笑,笑的孟谦莫名其妙。
整个工厂有五个厂房,一个食堂,一个宿舍,还有一个运动区。
何文康带着来到了最正中间的厂房,一进门就可以看到两边摆满的设备和地上密布的电缆。
而最显眼的,就是进门右手边的一台半暴露的“庞然大物”。
何文康带着孟谦走向了那台设备,厂里的几名员工纷纷跟何文康打招呼,同时打量了一下孟谦,毕竟他最近老出现在工厂门口,有人也问过张国强他是谁,张国强只道是个来了解情况的,没有细说。
“知道这是什么吧?”何文康驻足盯着设备看了一会儿后转过头问孟谦道。
“光刻机。”孟谦有些低沉的回应了一句,同样驻足盯着光刻机,一种奇怪的情绪涌上心头,光刻机,多少华夏人心头的痛啊...
何文康微微侧头观察着孟谦的表情,然而孟谦表现在脸上的情绪让他突然懵逼了,怎么感觉看出了一种...杀父之仇的感觉?
“孟总知道这些东西都是干嘛的嘛?”搞不懂孟谦的何文康用手对着光刻机画了个圈问道。
“大概了解,但不详细。”孟谦向前了两步想看的更清楚。
“那我简单跟孟总介绍一下吧”何文康同样上前两步先指了指设备最边上的一个椭圆形的东西,“这是激光器,边上这个是能量控制器,下面是光束矫正器,就这三个东西控制着光源的第一步输入,这一环节最重要的,是稳定。
但就是一个稳定,我们华夏这么多年就是控制不好,孟总知道为什么么?”
孟谦摇了摇头。
“那孟总知道这么一台光刻机一天的耗电量么?”
孟谦再次摇了摇头。
何文康看了一眼激光器道,“一万度电起步。”
孟谦稍惊了一下,他后世确实没了解的这么细,这一世又一直在了解更上游的东西,“是因为能量转换率的问题吧?”
“是的。”何文康冲着孟谦点了点头,“光刻机的能量转换率平均值还不到千分之一。
所以如何保证一个长时间内持续稳定的高功率输出,这是光源输入的第一个稳,第二个稳在于,如何提升能量稳定以提升良品率,要知道,最终的能量一旦出现一点极小的误差,都会影响到良品率,最后一个稳,也是最基本的稳,如何通过设备稳定来降低用电量。
一个表现优异的激光器和能量转换器,它会影响企业的电力成本以及产品的良品率。”
“一个拥有三四台光刻机的晶圆厂,每年光电费就要上千万...”孟谦下意识的接了一句。
“目前市面上设备的优劣可以带来的用电差距,高达两倍。”何文康往右边走了几步,“从能量控制器出来的能量会进入光束形状设置装置,不同的光束会带来不同的光学效果。
再过去就是能量探测器了,刚才我也说了,能量的误差会直接影响到良品率,所以这里算是对能量的二次确认,能量探测器下面那个东西叫掩模版,这东西本质上就是一个刻着芯片线路的玻璃,类似于相机的底片。
但就这么一块破玻璃,孟总猜猜看多少钱?”
孟谦想了想道,“何总直接说答案吧。”
何文康淡淡一笑,“一块破玻璃,一百万。”
说完,何文康示意孟谦向右走两步,“掩模版下面这一块就是最重要的东西了,物镜,孟总可以数一数,这里总共有20多块镜片,通过这20多块镜片,将掩膜版上的电路图按比例缩小,再被激光映射到硅片上,同时物镜还要补偿各种光学误差。
这个东西,孟总也很清楚,咱们搞不定。
下面这两个平台是测量台和曝光台,正常流程,先测量,再曝光,整个测量台的精度是纳米级的,差1纳米都不行,我们用的自动调焦系统,是米国人设计的。
好了,这就是一台从表面上能看到的光刻机,但技术却不仅只是这些,就比如看到这里的传输带了么,这是传输系统,同样是纳米级的,而且加速系统是航空水平,整个光刻机还需要减震系统,环境控制系统,整机控制系统,自动化操作系统等等。
这就是光刻机,一个把它模块化之后,每一个模块的难度都是一个缩小版光刻机的东西。”
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