第464章 哟，超了？！

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那些东西是为了nm级别的精度准备的，对于现在这个高振东只要求5μm的来说，差着几千倍呢。</p>

工件台总体看起来个头不算小，不是下面一个带导轨的架子上面一个台子那么简单，顶部是工件台系统，中间是隔振系统，底部才是基座，不过后两者严格说来不是工件台的一部分，是光刻机的一部分了。</p>

“介绍介绍吧，易师傅。”</p>

这里面，八级钳工易中海无疑是领头的那个，反而没有专业的机械设计人员，主要是厂里没有，所以这个东西，全靠这帮大小师傅的经验来完成了。</p>

高振东点了名，易中海就指着机器，一点一点的介绍起来，用语平实，有不少他们钳工车工等工种的行内话，高振东还得问一问是什么意思才能完全理解，颇有一点前世看互联网黑话的感觉。</p>

师傅们对高振东毫不遮掩自己在这方面的短处，大大方方问问题的作风，也是心中认可，对味儿！一个个的都热情解答。</p>

经过一番沟通，高振东大概明白了这个工件台的基本路线和原理，高振东要求的精度，没超出各位大师傅的能力范围，也没玩别的花活儿或者高科技，差不多就是用机床减速机构实现的精确运动控制。</p>

减速机构说起来是减速，根子上就是按照一定比例改变运动状态，其实可以用于不同的用途，力矩缩放、尺寸缩放、运动状态缩放等等，都行。</p>

宏动用的齿轮，微动用了丝杠，三轧厂的大师傅们通过精心的设计，让齿轮组、丝杠等等巧妙配合，实现了对工件台的运动的精确定位。</p>

在日后不算精确，这个时候可就很精确了。</p>

对于这个东西，高振东既没有要求运动速度，也没要求定位速度和稳定速度，这让大师傅们做起来需要顾忌和考虑的东西就更少，目标既明确又纯粹。</p>

那些指标，是自动化生产需要的，但是高振东现在并没有考虑那个，和PCB与焊接不同，IC这个东西整个产业规模暂时还达不到，生产那么快干嘛。</p>

先解决有没有，参与人员经验多了信心足了，再继续改进就是。</p>

高振东前世，我国77年搞的接触式和接近式光刻机，也是手动的。</p>

高振东看着手上的工件台参数表，他这个时候，有一点感受到别人面对他的时候的感觉了。</p>

那就是惊喜，我本来没想要这么好的，怎么你就拿出这么好的东西出来了？万万没想到啊。</p>

“易师傅，这个移动标准差和移动平均差，你们已经做到1.5μm了？”高振东语含惊喜。</p>

移动标准差决定了光刻线宽，移动平均差会影响套刻精度，这两个指标，是高振东在这一块最看重的，而别的指标都往后稍稍。</p>

易中海和所有的师傅对望一眼，面带自豪。</p>

“是啊，我们搞了一下子，大家合计了一下，觉得以手上的条件，加把劲，其实能搞得更好。于是大家各自想办法，拼了老命的把这个降到了1.5，想来对你们来说，应该是有用的。”话说得朴实简单，但是其中过程的艰辛应该是不少。</p>

看着易中海在工件台上一阵操作，现场的验证了1.5μm的运动精度，高振东一拍大腿：“这可太有用了！各位师傅，这么说吧，你们已经实现了我下一步想要达到的精度目标，是大跨了一步啊！谢谢你们！”</p>

说完，高振东后退一步，给大家行了个礼，然后抬起头来。</p>

“各位师傅，我在此宣布，特种工艺工件台课题，原理样机基本成功，可以转入下课题研究的下一阶段，谢谢所有参与者的辛勤劳动和艰苦付出。”</p>

各位师傅齐齐鼓掌，这位高总工为人，那真是没得说。</p>

对于高振东来说，这两个指标达到了1.5μm，至少在工件台一块，就能支撑住5~8μm的线宽制程，这大大的超出了原本的预期，加快了设想中的进度。</p>

而工件台的解决，意味着掩膜台也得到了解决，两者在结构和功用上是高度相似的，只是一个放掩模，一个放硅片。至于光学系统，基本是不动的，那玩意精贵着呢，调整好了就别动了，让掩模和工件自己动才是正理。</p>

高振东抬起头来，招呼秦怀茹：“秦师傅，麻烦你一下，你到三分厂厂办，叫他们通知总厂宣传处的同志过来一下。”</p>

直接叫秦怀茹的原因，是因为这里他熟悉的只有易中海两师徒，这种跑腿的事情，自然不太好叫易中海去做，那就只有辛苦一下秦怀茹了。</p>

秦怀茹应了一声出去了，高振东笑道：“各位师傅，这个事情虽然前面要走的路还长，但是这个喜讯，我们至少在厂内还是要好好报道一下的。”</p>

(本章完)</p>

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