第570章

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“你先别管我研究没演技出来，你先回答我的问题。”</p>

“能，也不能！”</p>

周正峰沉思了一下。</p>

“中科院微电子研究院用聚电解质制成的聚合物电解质“肥皂泡”作为模板，用激光照射，也得到了13.5nm的极紫外光源，14nm的技术倒是很稳定了，但7nm的不稳定，成功率极差。”</p>

“还有镜片，我们目前精度达不到，实验室倒是有几块前几年从汉斯国进口的，但只能在实验室用，所以即便我们光源达到了极紫外光源，芯片还是卡在28nm，无法量产14nm的芯片。 ”</p>

“即便是有新的制程工艺，我们预计也会卡在7nm上，因为我们没有高精度的双工作台。”</p>

陈诺也是有些意外，没想到国内竟然在光刻机的光源上突破了，若不是他问，估计到官宣的那一天他才知道。</p>

“行吧，凑合用吧！”</p>

“什么意思？”</p>

“前几天我研究那台光刻机的时候，我发现平面结构 MOS，可以改三维结构，我称之为 FinFET ，这种结构能有效控制泄漏……</p>

算了，一时半会说不清楚，你只需要知道，国产光刻机用这个技术能从28nm突破到14nm就行了。”</p>

唰！</p>

碰！</p>

周正峰和发改委主任余杰、王福三人一下子站了起来，眼神灼灼的看着陈诺。</p>

三人呼吸急促，声音有如封箱。</p>

陈诺拿出智能驾驶系统三人都没有这么激动，因为即便没有智能驾驶系统，锂硫电池也不会被逼到绝路，大不了授权了。</p>

但这个技术不一样，若是真能突破到14nm，以碳基材料的特性，比5nm的硅基芯片要强上一些，不仅能解决手机芯片问题，更能解决汽车芯片问题。</p>

最关键的是刚刚的那款智能驾驶汽车就可以使用了。</p>

三人一个主管半导体，一个主管国家经济发展，一个是汽车行业的老大，都跟芯片有着极大的联系，所以三人才如此的激动。</p>

“陈、陈教授，你说的是真的？”</p>

过了几秒钟周正峰平复了心情，沉声问道。</p>