第310章、一代光刻机

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手机、电脑等电子产品面世的种类越来越多，其他产业对芯片的需求无论是数量还是种类也同样大增。马由很清楚，以后半导体芯片将逐渐开始深入到生活、工作的每一个角落，一套家用电器、办公用品、实验设备、汽车，几乎没有不涉及到芯片运用的产品。

现在这个时代，仅仅是芯片运用起步阶段，但还是越来越广泛了。芯片也开始不断衍生出新的功能和指向性更强的专用芯片。所以芯片产业链也就越来越成熟，需求和产值自然放大。

虽说年初布局产业时，就考虑到晶圆工厂的生产可持续发展。将产能尽可能扩大了，但随着全球经济向好，前些年晶圆加工产能过剩的状况不知不觉中已彻底扭转。弘崆晶圆厂在今年下半年，也陆续接到了不少fabless模式（只设计、包装和销售芯片，自身没有加工能力）企业的芯片加工合同。

若只考虑蓝星集团自用，包括满足国产电脑、组装机市场需求。蓝星集团在德国、弘崆和蓉城三家晶圆工厂的产能足够。但马由给弘崆晶圆工厂甚至以后对德国工厂的定位，都是foundry（代工厂）模式，其目的就是要让西方列强逐渐制造业空心化。同时还能狙击弯积电、三星等对外代工的企业。因而无论如何也要保障弘崆的晶圆厂对外承接芯片加工的产能。

这是长远的大计，也是符合科技发展轨迹中，分工越来越专业化、规模化的趋势。所以他不但不能占用弘崆晶圆工厂的产能，反而还要继续扩大这家工厂的规模。

蓉城的晶圆工厂二期、弘崆晶圆加工厂在鹏城的二期工厂，都在进行土建施工和防尘车间装修中，再有2-3个月就要竣工。那时，就需要两家晶圆厂1期工程4倍的芯片生产线。

芯片生产线主要由单晶炉、晶圆划片机、晶片减薄机、气相外延炉、分子束外延系统、氧化炉（vdf）、低压化学气相淀积系统、等离子体增强化学气相淀积系统、磁控溅射台、化学机械抛光机、引线键合机、光刻机、光刻胶、蚀刻机、反应离子刻蚀系统、高能粒子注入机、探针测试台等设备组成。

其中光刻机已无法从国外进口，另外还有等高能离子注入机被两家米国企业所垄断，同样被限制进口到华国大陆。其他大部分设备限制没有这么严格，蓝星集团已在全球完成订购。

自研更高效率、更小制程新型光刻机及芯片生产线，势在必行。对此马由也早有计划。除连港的机床厂生产高精密数控机床外，京城、鹭岛、蓉城、姑苏等地都规划了精密仪器、设备工厂。在姑苏布局了光学工业，在实验室已完成光源制造。这都是为生产芯片生产设备所需，进行的产业布局。

芯片生产线中最核心的设备光刻机，是马由最先要解决的难题之一。它跟照相机有相似的原理和构造，它的底片就是涂满光敏胶的硅片。电路图案经光刻机，缩微投射到底片，蚀刻掉一部分胶，露出硅面做化学处理。制造芯片，要重复几十遍这个过程。

位于光刻机中心的镜头，由20多块锅底大的镜片串联组成。镜片得高纯度透光材料+高质量抛光。光刻机使用的镜片，得数万米元一块。这时阿斯麦尔光刻机镜片都是靠蔡司技术打底。其他如尼康等光刻机厂，本身就是光学工业企业。

马由布局在姑苏的光学工厂，通过这几个月生产各种影像设备，逐步掌握了蓝星集团自研的各种高端光学制造设备和仪器。其中一个小组，已秘密开始研制光刻机镜片。

有顶级的镜头和光源，还需极致的机械精密制造。

光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。有专家形容道“相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。”

而且，温湿度和空气压力变化会影响对焦。机器内部温度的变化要控制在千分之五度，得有合适的冷却方法，精准的测温传感器。最好的光刻机，包含13个分系统，3万个机械件，200多个传感器，每一个都要稳定。现在马由要解决的就是如此众多的精密构件加工问题。

京城电子厂已完成将所有优盘的生产线，转移到西京和鹏城两地。目前已转产集团其他企业所需的生产线，和各种设备的控制系统、科研设备等精密仪器。现在是满负荷状态。

姑苏的蓝星产业园已全部生产摄像机、摄影机、数字后期处理设备、以及数码相机，也已经满负荷。

现在可以安排生产光刻机等芯片生产线设备的工厂，还有京城电子厂二期和蓉城、鹭岛等工厂。