第406章 先调查一下

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郑振川虽然和精密仪器研究所那边是熟人，但面对这种事，又在苏远山面前，只好笑着点头道：“是，主要还是看看到底问题出在了哪里。不过就我个人而言，还是对双工件台的思路很看好的。”

“没错，双工件台技术必定能提大幅提高光刻机效率的。当初我就在想，这玩意将来要是搞出来，再加上最先进的制程……那真的就能拳打尼康，脚踢佳能了。要知道，光刻机这种印钞机，是真正的赢家通吃啊……”

苏远山先安慰了一下曲慧，紧接着便又等到了有点倒时差意味的赵凯东教授——赵凯东的团队为了配合大洋彼岸的林本坚团队，他们在远芯科技园过起了加利福利亚时间。得益于远芯的宽带在全国的企业和单位里都是出了名的快，他们的线上交流倒是很方便。

这边赵凯东因为是放弃了原本的kbbf晶体，直接转向稀有气体——krf方向，因此一开始还是以林本坚为主导的。但随着研发进度的加快，再加上赵凯东等人“雪耻”的心情，以及……出身自长光所这种“名门大所”与生具来的对技术的敏感，赵凯东的团队渐渐追上了进度，现在双方已经谈不上谁主导谁，只是双方负责不同的领域，朝着同一个目标前进罢了。

……

当苏远山走出光学实验室时，外面的天已经阴了下来，颇有下暴雨的意思。于是苏远山也就不骑车了，和曲慧边聊边往自己办公室里那边走。

“你怎么解决？”曲慧双手插兜，慢摇摇地和苏远山并肩走着。

“曲慧姐，首先……只要精密仪器厂那边在搞双工件台的技术，那么原则上远芯是没有办法过多干涉的。”苏远山走出郑振川的办公室后才正色道：“这不是官僚也不是给面子的问题，而是远芯不能用咄咄逼人的态度，就跟个霸王一样地去质问人家。”

“因为出了问题就找问题然后再解决问题是再正常不过的了，你不能来不来就全盘推翻人家的设计——这是很羞辱人的。”

曲慧便咬了咬唇，瞪了苏远山一眼。

苏远山心底便一阵好笑。

曲慧之所以有这种心态，完全是被惯出来的——无论是当初eda时期也好，还是后来转cad也好，她一直都是专心负责自己的领域，并在自己的领域内有着说一不二的脾气和权威。

但随着身份地位越高，这次去精密仪器厂搞个合作，反倒是处处都感觉掣肘。

“你的意思就是不管了？”

“当然要管，只不过不能这么激烈。首先……曲慧姐，你来判断一下，精密仪器厂那边到底是有心想搞技术，还是一帮人想胡乱搞点钱——这个很重要，是前提。”

“……”曲慧再次咬了咬唇，沉默几秒后道：“污蔑人的事我还是干不出来的，虽然厂里官僚气息比较重，但不得不说，这还是一家能够沉下心做研发的企业。”

苏远山便笑了：“你看，我们把这个基调定下来就好了。既然是能够沉下心来搞技术，搞研发，那现在的矛盾主要就集中在解决问题的分歧上。国内在机械设计领域中一向比较薄弱，这次的双工件台，说白了有点异想天开的意思——这种技术，理论上是只会诞生在生产光刻机的企业里。”

“精密仪器研究所那边接触光刻机，只是当初各个单位支持国产光刻机研发的时候有过机会，现在他们愿意为了为了国内半导体事业继续往晶圆厂的需求方面走，这是值得赞扬的好事。”

“所以，先不着急，慢慢来。”